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第149章工艺才是最重要的(2/2)

作为师弟和课题提者,苏远山只能从金钱上支持他…… [page]

又是一个声音接到:“还有扫描电镜。”

曲慧依旧一短发,正在和一个技术员分析数据,闻言回冲苏远山一笑:“听说你也要霍尔效应试验?”

在苏远山提概念早了将近五年。

“不是,我来问数据。”叶如黛转,指了指最里面:“看看试验结果和模拟功能是否对的上。”

现在这些家伙倒是把他的凝聚态实验室变成了个常规实验室,各基础试验得飞起。

俩在办公楼下分开,苏星河很忙,他要16位单片机的最后技术总结,还要帮儿赚钱。

就在他要退实验室时,叶如黛的小脑袋瓜也刚好伸

“好嘞。”叶如黛脆地应,快步走向最里边。

而目前,陈建国便在恶补相关知识,同时全国窜,到拜访相关领域的专家。

而苏远山也忙,要忙着实验。

苏远山:“那你过去,我等你,然后一起去上面看看。”

“叶?”

苏远山当然不可能掌握铜互连工艺,但他知方向。

“哦,想分析一下霍尔扰问题。”曲慧抿着嘴走向苏远山:“伺服电机小组那边的,我过来看一看。”

“曲慧?”苏远山轻声唤了一声。

这些学校当然都有实验室,但无论从设备的先程度还是齐备程度,才刚刚建立的远芯科技园都有着无与比的优势。

如今远芯的各个实验室已经被安排得满满的。

实验室,他看到霍尔效应实验仪前有个熟悉的人。

“嗯啊。”苏远山呵呵一笑,站到叶如黛旁:“你来实验?”

由于铜在二氧化硅中扩散系数很大,同时粘附也很弱,因此在铜互连导线外面必须要有一层阻挡层来阻挡其扩散。而为了更好地镀铜,还需要先在制程电路上生成一层薄薄的cu籽晶层……

“嗯,不过没事,我是玩票,你们忙。”苏远山笑,想了想又问:“你们这个试验是……啥?”

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……

这时上有人接到:“山总,多搞几台原力显微镜。”

苏远山也是有醉。

因为除了科技园这边要实验之外,电科,省大和理工等学校也纷纷提实验申请。

而生成cu籽晶层的方法,又有理气相沉淀和化学气相沉淀以及原层淀积之分。

“小山哥。”叶如黛惊了一下,立刻开心:“真巧。”

当生成铜籽晶层后,便可行电镀,最后抛光完成互联。

远芯科技园主要有两个比较大型的理实验室,其中一个光学实验室,一个就是他这边主要偏凝聚态理研究的实验室。

见众人大有准备开清单的架势,苏远山赶和曲慧了声别。

以至于……现在的情况是,就算苏远山来理实验室,也得等安排。

“噢!那我等会。”苏远山顿了顿,笑:“霍尔效应试验仪很便宜,下次多搞几台。”

“……”

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