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觉得你应该认真看看乔的那两篇论文。尤其是那篇关于制造光刻机的。”
“光刻机?我没听错吧?你是说那个数学小
发给我们的论文是关于如何制造光刻机的?”
“是的,你完全没有听错,就是关于光刻机的!我不知
该如何形容,但怎么说呢,他的论文在表述上有些
糊,我也发给了一些专家,但这篇论文真的很奇怪……”
布尔有些奇怪的看着自己这位得力副手。
因为这番话显然听起来很没有条理。
很难想象一位严谨的
级期刊副主编,在
简单表述时,会显得逻辑上有些混
。
“好了,我知
了,康妮,我建议你先放松一下,不如先去喝杯咖啡?等我先大概把论文看一遍再聊吧。如果你找不到更适合的审稿人,我会想办法的。你知
的,斯坦福大学可是有很多团队在
行相关的研究,比如学院里的
密度弹
电路单片光学微光刻技术,他们肯定会对这篇论文
兴趣。”
布尔·威尔逊直接打断了副主编康妮的话。
“好的,威尔逊先生,那你还是先看论文吧。”
说完,康妮直接扭
走
了主编室。
目送着副主编离开后,布尔才从电脑中调
了乔泽的这篇论文,沉下心开始读了起来。
费了两个小时,认真的读完了乔泽的论文后,布尔·威尔逊大概明白为什么副主编会失态了。
这论文给他的
觉大概就是,谁看谁都得懵。
照着论文中的遣词造句,说这只是一篇纯粹理论推导的论文吧,偏偏论文给
了很详实的数据
支撑,那一组组数据的确就像实验室里拿
来的一样。还有对这些数据的分析,真的太详实了。
最重要的是,如果这还只是停留在纸面上的机
,谁会无聊到去为一个
本还没有造
实
的机
去开发一
适
的控制系统?
要知
同时控制28束光的控制系统对于稳定
跟
度的要求近乎都是变态级的。
就好像阿斯麦最先
的极紫外光刻机,首先要将
功率二氧化碳激光脉冲经过几面绝对平整的镜片反
后,照
到一个直径仅仅只有30微米的锡滴
靶材上,然后激发
功率的13.5纳米等离
,并依靠这些等离
产生波长为13.5纳米的euv光源对晶圆
行曝光雕刻。
其控制单元对于
度要求之
可见一斑。
虽然乔泽在论文中的设计,对于仪
度的要求降低了不少。但这毕竟是光刻机,其功能是将无数的晶
雕刻在硅晶圆上。对稳定
跟
度的要求摆在那里。
更重要的是,这玩意儿如果是真的话,那么相当于同时二十八台光刻设备同时工作,同时加工生产不同制程不同功能的芯片,而且每条通
还能
据生产需要,对光源
行即时调整。
其生产效率跟生产灵活
,要远远
于目前传统的光刻设备。
真的,读完第一篇论文之后布尔就已经彻底呆住了,他甚至懒得翻开第二篇论文。